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Nanoscaled semiconductor-on-insulator materials, sensors and devices : selected, peer reviewed papers from the 6th International Workshop on Semiconductor-on-Insulator Materials and Devices, 24-28 October, 2010 Kyiv, Ukraine

von A.N. Nazarov

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This special collection covers: 1. the technology of semiconductor-on-insulator structures and devices; 2. the physics of new SOI devices; 3. SOI sensors and MEMS; 4. nanodots, nanowires and nanofilms. The first part covers a wide variety of SemOI-based structures such as ZnO-on-Insulators, a-SiC-on-Si oxide, graphite inner films fabricated by ion implantation, and others. The second part presents new devices based upon impact ionization near to the source junction, the modeling of charge transport in nano-scale SOI MOSFETs, the electrical properties of SOI MOSFETs with LaLuO3 high-k gate diel… (mehr)

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This special collection covers: 1. the technology of semiconductor-on-insulator structures and devices; 2. the physics of new SOI devices; 3. SOI sensors and MEMS; 4. nanodots, nanowires and nanofilms. The first part covers a wide variety of SemOI-based structures such as ZnO-on-Insulators, a-SiC-on-Si oxide, graphite inner films fabricated by ion implantation, and others. The second part presents new devices based upon impact ionization near to the source junction, the modeling of charge transport in nano-scale SOI MOSFETs, the electrical properties of SOI MOSFETs with LaLuO3 high-k gate diel

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